专利名称：一种透射波前检测系统和方法专利类型：发明专利
发明人：程雪岷,刘灵成,郝群,林宇仁申请号：CN201910722632.1申请日：20190806公开号：CN110320011A公开日：20191011
摘要：一种透射波前检测系统和方法，该系统包括在光路上依次设置的激光器、准直透镜、聚焦透镜、待测镜片托盘、扩束镜和波前传感器，以及与所述聚焦透镜相耦合用于驱动所述聚焦透镜沿光轴方向移动的第一驱动器，与所述待测镜片托盘相耦合用于驱动所述待测镜片托盘沿垂直光轴的XY方向平移的第二驱动器，与所述扩束镜相耦合用于驱动所述扩束镜沿光轴方向移动的第三驱动器。使用该检测系统的方法，根据扩束镜位移前后测得的波前测量数据，计算得到差分补偿的波前，能够改善测量系数矩阵的稀疏性，有效降低模态耦合的影响，提高波前测量的准确性。
申请人：清华大学深圳研究生院
地址：518055 广东省深圳市南山区西丽大学城清华校区
国籍：CN
代理机构：深圳新创友知识产权代理有限公司
代理人：王震宇
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