专利名称：一种高导电性IGZO溅射靶材的制备方法及其产品专利类型：发明专利发明人：林杰
申请号：CN201510640124.0申请日：20151008公开号：CN105239047A公开日：20160113
摘要：本发明公开了一种高导电性IGZO溅射靶材的制备方法，其采用摩尔比为1:（0～1）:（0.5～2）的氧化铟、氧化镓、氧化锌粉末为原料制得，制备过程包括生胚制成、通氧烧结以及真空热处理步骤；本发明在传统IGZO溅射靶材通氧烧结工艺后增加真空处理步骤，通过对靶材进行还原处理，增加它的组分缺陷，从而促进半导化，进而提高导电性能，同时保证成品密度符合要求，提升了IGZO溅射靶材的性能和产率。
申请人：福建省诺希科技园发展有限公司
地址：350301 福建省福州市福清市融侨经济开发区光电科技园(福建省诺希新材料科技有限公司研发中心大楼三层)
国籍：CN
代理机构：福州市鼓楼区鼎兴专利代理事务所(普通合伙)
代理人：程捷
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