专利名称：一种薄膜电容器加工用金属薄膜蒸镀设备专利类型：发明专利发明人：许华清
申请号：CN202011067225.0申请日：20201005公开号：CN112176288A公开日：20210105
摘要：本发明公开了一种薄膜电容器加工用金属薄膜蒸镀设备，其结构包括基片、喷洒装置、抽气泵、真空室、抽真空管、真空泵、操作面板，本发明改进后进行使用时，输出管将蒸发源材料导向分流管上，分流管将蒸发源材料等量稳定的通过每个出口进行喷洒，拉绳通过导接板将输入到通孔上，拉绳稳定的卡接在两根定位转杆之间，转轮带动卡齿进行旋转活动，使得拉绳可以快速稳定的进行收卷，能实现活动件的角度与金属薄膜相平行，可以将蒸发源材料均匀的喷洒在金属薄膜的每个位置上，保证蒸镀后的金属薄膜的厚度一致、层次均匀，提高金属薄膜的良品率和电容器的使用质量。
申请人：许华清
地址：411201 湖南省湘潭市桃园路1号
国籍：CN
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