事例

实习单位 宁夏隆基硅材料有限公司

系部： 机电工程系

年级:五年制机电二班

学号;

姓名： 林勇 专业：机电一体化 指导教师

前 言

毕业实习是我们在完成本专业基础课和专业课的学习之后，综合运用知识的重要的实践性教学环节，是机电专业必修的实践课程，在实践教学体系中占有重要地位。通过毕业实习使自己在实践中验证、巩固和深化已学的专业理论知识，通过知识的运用加深对相关课程理论与方法的理解与掌握。加强对企业及其管理业务的了解，将学到的知识与实际相结合，运用已学的专业理论知识对实习单位的各项业务进行初步分析，善于观察和分析对比，找到其合理和不足之处。灵活运用所学专业知识，在实践中发现并提炼问题，提出解决问题的思路和方法，提高分析问题及解决问题的能力。

2009年12月4日我进入宁夏隆基硅材料有限公司实习,了解该公司的生产车间的生产路线、工艺流程、主要单元操作过程的工作原理、主要技术指标和车间现代化生产组织与管理体制、安全生产规程、环保和节能措施及其它主要规章制度。这是第一次正式与社会接轨踏上工作岗位，开始与以往完全不一样的生活。每天在规定的时间上下班，上班期间要认真准时地完成自己的工作任务，不能草率敷衍了事。我们的肩上开始扛着民事责任，凡事得谨慎小心，否则随时可能要为一个小小的错误承担严重的后果付出巨大的代价，再也不是一句对不起和一纸道歉书所能解决。

目 录

一、 实习单位的概

述 „„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„1

（一） 隆基简

介„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„

（二） 宁夏隆基硅材料有限公司简

介„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„ 二、 管理组织形式和管理机

制„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„1 （一） 管理体

系„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„

（二） 管理体

制„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„

三、 实习工作岗位及生产流程简

介„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„1 （一） 实习工作岗

位„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„ （二） 生产流程简

介„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„ 四、 实习内

容„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„1

（一） 安全培

训„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„

（二） 道德修养及职业道德培

训„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„

五、个人心

得„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„1 六、实习总

结 „„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„„8

一、 实习单位的概述

（一） 隆基简介

西安隆基硅材料股份有限公司成立于2000年，是中国重要的单晶硅产品制造商。公司专注于硅材料及其相关产品的研发、制造，为光伏和半导体产业提供高质量的单晶硅产品。隆基的实力源于半导体产业领域积累的经验、规模化生产、持续成本控制以及对技术和品质的不懈追求。

为满足光伏市场对高品质单晶硅片的需要，公司不断在技术研发、生产规模上进行投入，率先在业内将领先的磁场单晶生产技术、硅碳分离技术等投入规模化生产，截至2009年公司已拥有2000吨（350MW）单晶硅、235MW硅片、3000吨硅料清洗纯化的生产加工能力。

经过多年的发展和整合，隆基已发展成为以中国西北重镇西安市为核心，以资源分配原则在多个城市设立工厂的生产体系。在电力供应充足且便宜的宁夏地区，我们建立了先进的单晶拉制工厂；在人才汇聚和物流中心的西安市，建立起管理总部和切片工厂。合理的工厂结构，达到资源和效率的最大化，提高公司竞争力。

（二） 宁夏隆基硅材料有限公司简介

宁夏隆基硅材料有限公司成立于2006年11月，坐落在宁夏回族自治区中宁县。公司直属于隆基硅产业集团，是由亚洲最大的磁电设备生产企业抚顺隆基磁电设备有限公司和国内最早从事硅材料产业之一的西安新盟电子科技有限公司共同投资设立的高新技术企业。公司致力于开发环保和可再生能源事业，主要产

品为单晶硅。公司投资总额共计6.99亿元，2010年完全建成后将具备年产2000吨单晶硅的生产能力，同时也将成为西北地区重要的单晶硅生产基地和国际范围内重要的硅材料供应商。公司生产的产品远销海内外，被广泛应用于制造太阳能电池、各类二极管、三极管和可控硅。公司现已与国内外多家光伏产业厂商、硅原料厂商建立了密切的业务联系，形成坚实的战略联盟，发展潜力、前景无限广阔。 1）标识释义

LONGi 隆基表述：我们致力于硅材料产业 2） 产能

西安隆基硅材料股份有限公司的总部和研发基地位于西安市民用航天产业基地。生产工厂位于中国多个城市，具有成本优势和充足的电力供应，确保隆基在质量、价格和效率方面为客户提供更好的服务。

2009年公司拥有240台单晶炉、60台线切割机和各种单晶硅及硅料、硅片的制造检测设备。按公司中长期发展规划，计划到2010年年底，单晶炉将增至400台、线切割机增至90台；同时，5000吨/年的全自动硅材料清洗、2012年将整体硅棒、硅片产能扩大到1GW/年。

二、 管理组织形式和管理机制

（一） 管理体系：技术管理、生产管理、销售管理、采购、人力资源、财务等现代化管理制度

管理体系提高了企业运营的规范性和效率

股东大会

执行懂事

总经理

财务 经营 技术质量 设备 生产部 （二）管理体制 企业使命

制造最经济的太阳能硅片，帮助更多的人享受清洁的太阳能源 企业责任

为客户创造价值，为员工提供发展，为股东奉献利润，为社会做出贡献 企业理念

可靠——可靠的品质，忠实的伙伴。 增值——提升自我，为顾客增创价值。 愉悦——给顾客、员工以愉快的体验。 企业作风

诚实守信，团队合作，结果导向，日事日毕 用人哲学

尊重，隆基所有人的人格都是平等的，每个隆基人彼此间互相尊重；机会，隆基把为员工创造成功的机会视为管理的核心。

三、 实习工作岗位及生产流程简介

（一） 实习工作岗位：单晶操作员 （二） 生产流程简介 1 装炉

1.1 设备运行情况确认，确保设备能正常运行。

1）上炉拉晶是否有异常情况，并确认异常已处理正常。

2）设备、热系统的维护保养工作。主要确认大清、管道、油炉数，是否已按规定进行了维护保养。

3）冷却水畅通，单晶炉所有的冷却水阀门保持开状态（如图4-1、4-2所示）。

图4-1 图4-2

4）检查上炉热检漏是否合格：极限真空<15mtorr，泄漏率<45mtorr/h。 5）上、中、下炉筒、隔离阀处的密封圈没有损坏且良好处于密封槽内。 6）检查隔离阀（包括插板阀和翻板阀），保证其操作灵活无卡滞。隔离阀

的开和闭两个限位运行正常，如有问题必须及时处理。 1.2 炉膛、热场的清扫

生产辅助人员按照《炉膛、热场的清扫规范》进行热场清理。 1.3 热场装配

1）准备好工具，戴好线手套。

2）将加热器的电极螺栓先拧松、再拧紧。拧紧的尺度是适可而止。 3）安装托杆，要求装稳，不会晃动。托杆和下轴的连接螺栓的拧紧尺度是适可而止。

4）装隔热体和埚托。注意止口要装配良好，隔热体中心的石墨碳毡完好。 5）装石墨埚底和石墨埚帮。安装完毕后检查所有接缝处，应保存平滑。 6）检查对中热电堆的取光孔。

7）装过渡盘及上保温罩。上保温罩的石墨内胆和石墨毡的排气孔应对齐，保证排气顺畅。

1.4炉台主操对炉膛及热场的卫生按以下要求进行检查，确认合格后方可装料。 序号 检查项目 1 2 3 4 5 6 7 主炉筒 炉盖、喉口 副室或插板阀内 副炉筒、副炉筒顶部（大清后） 主、副罩石墨碳毡及排气孔 加热器 石墨埚帮 目视：石墨碳毡及排气孔没有任何挥发物及其它异物，排气孔对中。 目视：石墨件上没有浮尘及明显的黄色挥发物 用无尘布擦拭：擦拭后布上没有颗粒状挥发物、浮目视：炉壁（包括焊巴、喉口、插板阀）没有任何挥发物及其它异物 用蘸酒精的无尘纸擦拭：擦拭后纸上无任何痕迹 检查方法及标准 尘及其它异物。 8 9 10 副保温筒 热屏 大盖 【注1】对于大清后的热场装配参照《热场制作与装配作业指导书》。 【注2】所有的石墨件必须是轻拿轻放。 1.4 装料

1.4.1检查核对《单晶生产随工单》中的项目和实际相符。

1）随工单中的晶体编号和炉台相符。

记录：《单晶拉制生产记录》中炉号、装炉人、时间、晶体编号、合同号项目。

2）查看炉台的条件能满足要拉制晶体的合同要求： 要求 条件 型号（P/N型） 热场条件、籽晶型号 晶向 籽晶晶向 直径 参数（埚跟比） 电阻率 是否需提小头、掺杂 记录：《单晶拉制生产记录》中型号/晶向、直径、埚跟比、目标电阻率项目

3）单子中所列原辅材料和实际配料相符，包括： 原料构成 原料总量 掺杂剂和掺杂量 坩埚种类和尺寸 记录：《单晶拉制生产记录》中料号料重、坩埚种类和尺寸项目。

【注】发现异常，报告上级主管。 1.4.2 准备工作

1）确认周围环境良好，没有拆炉、清理炉膛或其他污染。 2）准备剪刀、酒精、擦炉纸、装料车、废物袋。 3）用酒精擦拭干净装料车。

4）按照装料服穿戴照片中的要求穿戴好服装(如图4-3所示)。

图4-3

1.4.3 装石英坩埚

1）打开石英坩埚的外包装，带上一次性手套，将石英坩埚包装打开，对着光源或用手电照射进行检查，检查其无裂纹、划痕、气泡、杂质点、内壁不光滑等异常。

【注1】涂层坩埚，严禁以任何形式触摸石英坩埚内壁的涂层。 【注2】对于专用的提纯石英坩埚，允许有少量的杂质点。 【注3】对于22吋以上的石英坩埚，需2人配合安装。

2）检查无问题后，将石英坩埚装入石墨埚帮内。注意操作中不能有任何磕碰，将石英埚装水平，防止将外壁的石英渣带入埚内。 记录：《单晶拉制生产记录》中石英坩埚检查项目 1.4.4 装料

1）取料：先用剪刀把多晶料外包装剪开，换上新一次性手套，将装有料的内包装取出放在高纯小车上。注意整个过程中，内包装袋不能直接或间接接触到外包装袋外表面或地面。

【注】产生的废物及时整理，严禁乱扔。

2）根据料块大小对原料进行初选，按照以下原则安排其所装位置（如图4-4）。

小料：装在坩埚底部、上部、填充在块状料的中间。 中料：坩埚中下部、中部、中上部、上部。

大料：坩埚中部且靠近埚边。装时注意对称放置，保证重心平稳。

图4-4

3）装料操作要求。

a.高纯：装料时要保证原料的高纯，防止对料造成污染。

【注】装料时，手除了接触多晶原料和内包装袋，严禁触摸其他任何地方。 b.紧凑：料块大小搭配、位置选择合理，能够将所配原料安全装下。 c.安全：

c1.石英坩埚保护：保证料块与石英坩埚轻轻接触，避免磕碰。料块的尖角不许靠在石英坩埚壁上，禁止硬挤硬塞。

c2.防止挂边：装上部（距石英坩埚上沿30mm的区域）原料时，应尽量减少料与坩埚的接触面积。

c3.防止架桥：装上部原料时，注意调整料块的位置，在塌料时不会“架桥”。

c4.防止料块掉落：装料过程中防止料块掉进底盘，或掉入加热器与埚帮或主保温筒的缝隙。如掉入需设法取出。对于石英坩埚上沿以上的原料，必须垒实，保证启动埚转后，不会滑落。

c5.装最上一层原料时，要预留出空间，避免安装热屏时碰到多晶料块。 d.其他

d1.如有预掺杂剂，应将其装在石英坩埚中部，防止提渣时提出。 d2.对于沫子料，为防止加热膨胀溢出，料不可挤压过紧，还需保证料和石英坩埚上沿有30mm高的安全距离。

4）装完后，调整上层料块，再次确认原料不会碰到热屏下口、滑落，且在塌料后不会发生挂边、搭桥或碰到热屏等异常。

5）将埚位降低至化料埚位（最低安全埚位），启动埚转（1rpm）。 6）吸除石墨埚帮、加热器、主罩上沿的硅粉。注意吸尘管道不能接触到原料。

7）擦拭干净密封面。合炉。

【注】合炉时注意看各个密封圈是否完好，下降炉筒及副室时保证下降到位，要求碰上限位。防止压到线路、水管等。

8）修改初始化中的投料量为实际投料重量并下载。启动抽空。 9）清理装料现场，工具归位。 2 抽空

2.1 在触摸屏中选择抽空。按要求输入操作员及单晶编号。

【注】输入要求：

1）操作员：取操作人员姓名的前首字母（小写）。如张三，就输入zs 。 2）单晶编号：只需输入单晶生产随工单晶体编号的年、月、炉号、。

如晶体编号为：N0906002-8（MCZ）TC(C2)，只需输入0906002-8 。 2.2点动3次启动主真空泵。待5秒后依次打开球阀和节流阀（关泵时相反）。 记录：《单晶拉制生产记录》中抽空项目

2.3 极限真空 < 40 mtorr；泄漏率 < 50 mtorr/hr时，真空合格，可进行压力化操作。如泄漏率不合格，可流氩-抽空数次后再次进行检漏操作。

【注】流氩-抽空方法：

1）触摸屏切换至手动状态下，主泵保持开状态；

2）打开副室氩气50slpm，充5分钟后，关闭副室氩气，让泵抽5分钟，再

打开副室

气充5分钟，再抽5分钟，依次循环。 2.4 检漏合格后进入压力化步骤。 3 压力化/熔料

3.1 启动压力化后，电脑将炉压和氩气流量调整到设定值后即可打开加热器，进入自动熔料过程。

记录：《单晶拉制生产记录》中加热项目。 3.2 熔料

1）在熔料后期，既塌料后，仔细观察坩埚旋转一周的液面倒影及料块，确定没有挂边（大的挂边会碰上热屏），坩埚有上升空间时，须及时将埚位分段升到安全距离（升坩埚时须注意观察炉内液面据热屏的距离，防止将热屏浸入熔硅或碰到料块）。

2）注意：在塌料后要勤观察炉内情况，处理可能发生的挂边、搭桥、漏硅事故。

3）只剩下少量未熔硅块（线度尺寸在50-100mm）时，将功率分段（5kw/ 5min）降至引晶功率以上5-10kw。

4）如原料脏（发现液面上有渣滓或其他异物）时，提前将功率降低，进行提渣。

记录：《单晶拉制生产记录》中高温、熔完项目 4 提渣要求

1）为保护籽晶及钢丝绳不进入高温区，提渣时，保证功率已降至引晶功率，埚位在引晶埚位。

2）粘渣时应尽量粘在渣滓的重心处，粘接牢固后，将埚位下降30mm。 3）提升隔离。操作过程中遵守6.1、6.2、6.3中的相关要求。 记录：《单晶拉制生产记录》中记录清楚提渣信息 5低压挥发

拉晶炉台，按以下要求进行低压挥发。

1）在手动状态下，退出压力控制，节流阀开度设为100%，调节氩气/真空界面中氩气流量控制的设定值，将炉压稳定在2乇，挥发1个小时。

2）功率：高于引晶功率3—5kw。 3）埚位：低于引晶埚位20—30mm。

记录：《单晶拉制生产记录》中记录清楚低压挥发信息。 6提样（小头）测电阻率、掺杂 6.1提样测电阻率要求。

1）提样要求（参照图4-5）

a.引晶：引出的细晶应是无位错单晶，直径3-5mm，长度约50mm。 b.提样：拉出直径15-20mm，长度30-40mm左右的圆柱（小头）。禁止放成方形。

2）测电阻要求

a.打磨：选择样品中部和尾部两个点将表面打磨。

b.测电阻：分别测出打磨两点的电阻率，求出平均值为最终的实测电阻率。

图4-5

3）测出型号 4）掺杂

a.由配料掺杂人员根据目标电阻率和小头电阻率计算出掺杂量。对于镓，需要标识清楚放置在冰箱中冷藏。

b.炉台操作人员利用提盖子的方式进行掺杂。 【注】步骤：

b1.将热场温度适当调低，放直径40-60mm的盖子（平肩，边缘微翘）； b2.进行隔离操作，将掺杂剂置于盖子上，注意放稳，不可洒落。金属镓的熔点是29.9℃，要求操作时动作要快、准、稳，防止熔化后粘在滤纸或镊子上。

b3. 合上副室，进行副室净化操作。 b4.下降至熔硅中将掺杂剂熔化。

5）操作过程中应遵守6.1、6.2、6.3中的相关要求。

记录：《单晶拉制生产记录》中记录清楚提样测电阻信息。 7 稳定化

调节功率，将温度稳定在引晶功率。 6 引晶

1）按6.1、6.2的规定下降籽晶、预热，和熔硅良好熔接。 2）观察光圈，温度合适后，开始引晶。 3）拉单晶的引晶要求：

a.熔接、缩颈均匀良好，直径在3-5mm之间，长度为所要拉制晶体的直径（如6吋为150-160mm，8吋为190-200mm）。

b.引晶采用三段式引晶。 前：高温熔接；

中：中间高拉速（5-8mm/min），且高拉速生长的细晶长度要大于50mm； 末：放肩前降低拉速。保证放肩时不放飞，即放成方形。 【注】在实际操作中，需要先降温后升温。

4）拉多晶的引晶要求：熔接良好，尽量引成单晶。直径在5-7mm之间，长度90-100mm。

记录：《单晶拉制生产记录》中记录引晶信息。 7 放肩

引晶完成后，进行放肩操作。

记录：《单晶拉制生产记录》中记录放肩信息。 8 转肩

放肩接近要求直径时，进行转肩操作。

注意：1）把握好转肩时机及转肩时长，对控制好直径至关重要。 2）测径仪的使用按照《测径仪作业指导书》操作。 记录：《单晶拉制生产记录》中记录清楚转肩信息。 9 等径

9.1 观察晶体转肩完成后，调节好聂耳根光圈位置，启动等径步骤。

9.1.1等径后，要注意测量晶体直径，超出《单晶生产随工单》中的要求范围应及时进行调整。

9.1.2对于提纯炉台，现对拉7-8吋单晶时不同装料量的头部设定拉速大小规定如下：

投料量（kg） 拉速（mm/min） 80-70 0.8-0.75 70-60 0.75-0.7 60-50 0.7-0.65 50-40 0.65-0.6 【注】修改办法：转肩完成，投等径后，在生长控制界面中将设定生长速度（如图4-6）修改为上述规定拉速后，投入闭环。

图4-6

记录：《单晶拉制生产记录》中记录等径信息。 9.2 等径时鼓掉（断线）处理 9.2.1 处理原则

【注】以下的处理原则，操作人员可根据拉晶时间等具体情况，经上级主管同意后进行调整。

1）当鼓棱长度大于所拉制晶体的两倍时，应按照4.9.2.2进行冷却。 2）不足两倍时，分以下几种情况处理：

a.原料较差（或化完料后液面有渣滓），可作为多晶提出。 b.原料较好（化完料后液面干净），按照4.9.2.3进行回熔。 9.2.2 鼓掉单晶的冷却流程

1）触摸屏切换至手动状态，将等径控制、热场控制、升温控制、液面温控、生长控制、坩埚跟踪退出闭环（注意确保关闭埚升）。

2）埚转分段降至1转，晶转分段降为原来的1/2。 3）加热器功率适当升高至引晶功率以上5-10kw。 4）将坩埚下降20-30mm，使晶体脱离液面。 5）冷却流程： 晶体尺寸 6吋 冷 却 流 程 拉速设定 1、拉速 3.0mm/min 保持时间 30min 2、拉速 4.5mm/min 3、拉速 8.0mm/min 4、提至副室并隔离，炉压350乇 1、拉速 3.0mm/min 8吋 2、拉速 4.5mm/min 3、拉速 6.0mm/min 4、提至副室并隔离，炉压350乇 6）操作过程中应遵守6.1、6.2、6.3中的相关要求。 9.2.3提纯时，出现异常须提出一节重新再拉时的冷却要求：

冷 却 流 程 拉速设定 1、拉速 6.0mm/min 2、提至副室并隔离，炉压350乇左右 9.2.3 回熔操作流程

60min 30min 30min 30min 60min 60min 60min 保持时间 60min 30min 1）触摸屏切换至手动状态，将等径控制、热场控制、升温控制、液面温控、生长控制、坩埚跟踪退出闭环（注意确保关闭埚升）。

2）埚转分段降至1-2转，晶转分段降为原来的1/2。 3）加热器功率适当升高（最高不能超过熔料功率的90%）。

4）将坩埚下降到原引晶埚位以下10-20mm（否则回熔时液面上升将浸到热屏）。

5）回熔时应逐步下降晶棒（每次10mm以内），待熔硅中的晶棒熔完后方可继续下降。

6）回熔完成后进行稳定化、引晶操作。

9.2.4 在完成提出单晶或回熔操作，再次进行引晶操作前须检查修正坩埚跟踪界面下的投料量和实际情况是否相符。

记录：《单晶拉制生产记录》中记录断线处理信息。 9.3 等径过程中须注意的项目

1）检查液口距（熔硅液面和热屏下口的距离）是否正常，验算埚跟比。 2）每隔1小时需测量晶体直径，出现偏差及时调整。

3）拉晶时间控制要求：

a.对于磁场拉晶或使用涂层石英坩埚，提倡不要超过70个小时（这里的拉晶时间从熔完料开始计算，下同），严禁超过90个小时。即在60个小时后还没拉出单晶时就应考虑提多晶。

b.普通炉台用非涂层石英坩埚拉晶，提倡不要超过60个小时，严禁超过72个小时。即在50小时后还没拉出单晶就应考虑提多晶。

记录：《单晶拉制生产记录》中记录等径信息，每小时记录一次。 10 收尾

1）当剩料重量到以下要求重量时，启动收尾步骤。

热场尺寸 18吋 晶体直径 6吋 8吋 6吋 8吋 2）收尾长度为所拉制晶体的直径。

【注】实际剩料重量要根据实际晶体的直径、提出的渣盖等计算。 记录：《单晶拉制生产记录》中记录收尾信息。 11 停炉

11.1 收尾完成后，启动停炉操作。

1）对慧翔控制柜要求：

a.用自动停炉，待功率降为0后,关掉加热电源，进行冷却。

b.停炉后1.5-2个小时左右切换成手动状态，确认炉内已抽空至极限后，关掉主真空泵。

【注意】停炉1个小时后，氩气电磁阀自动关闭。

2）不能进行自动停炉的炉台，对于单晶，操作者要在停炉后分段将晶体提升，使晶体尾部处于大盖处进行冷却。具体操作是： a.停炉30分钟，将晶体手动快速提升150mm；

b.停炉1小时，再将晶体快速提升，使晶体尾部处于大盖位置。

收尾剩料重量(kg) 4～5 7～8 5～6 7～9 20/22吋 c.晶体提升完毕后，关闭所有氩气阀门或电磁阀，待抽空至极限后，关闭主泵。

3）在操作中要注意防止因误操作或粗心大意，造成晶体上升至上限拉断钢丝绳。

记录：《单晶拉制生产记录》中记录停炉信息。 12 拆炉

12.1 停炉后5.5小时左右进行手动热检漏。

1）计算机切换到手动状态下。关闭氩气进气管上的手动球阀。 2）将流量计系统上的电磁阀全部打开，节流阀开度设定30%。 3）启动主泵，抽空到极限后将泵关闭。

【注】抽空到极限的判断方法：查看曲线数据面板中的主室压力曲线从下降趋于平直，说明炉内压力为极限真空压力。

4）查看5分钟炉压回返值，计算出泄漏率。

【注】方法：设观察5分钟炉压从10mTorr变到12mTorr。则泄露率为 （12-10）*60/5=24mTorr/hr。

5）真空度<15mtorr，泄漏率<45mtorr/hr，热检漏合格，不合格拆炉后报修。 记录：《单晶拉制生产记录》中记录热检漏、拆炉信息。 12.1 停炉后6小时拆炉取晶体。

1）准备好取晶用具：隔热手套、钳子、取晶框、电动叉车。

2）降晶转，升晶体。提升晶体前先分段将晶转降至0。晶体长度小于1300mm，需要完全升入副室（晶体尾部在副室下口以上）。

3）提升、旋转副室、炉盖。

a.长度小于1300mm的晶体。升起副室后，将托晶盘旋转至晶体正下方。匀速转动副室至取晶位置。

b.晶体长度大于1300mm，升起副室和炉盖，确认晶体尾部处于炉盖下法兰以上后。匀速、同步旋转副室和炉盖至取晶位置。

4）下降晶体。

a.将取晶框稳置于晶体正下方。三人配合，一人扶稳副室、炉盖，一人用外部引晶盒下降晶体，另一人扶住取晶框。

对于长度大于1300mm的晶体。需要用使用叉车，注意将取晶框稳置于叉车上。

b.让晶体尾部接触到取晶框底部，并释放掉钢丝绳的大部分拉力，但要保证钢丝绳处在受拉状态下，防止其打折。

c.用钳子从靠近晶体肩部的细晶处剪断，晶体上不能留有长度超过5mm细晶。

e.将晶体放在指定位置冷却，要求标识清楚晶体编号（如图4-7所示）。

图4-7

12.2 拆埚底料及石墨件

1）取完晶体后，准备好拆炉用具：石墨小车（铺石墨碳毡）、隔热手套、钩子（取热屏及埚帮）、钳子等。

2）取出热屏，倒扣在石墨小车上。 3）拆出大盖及上罩置于石墨小车上。

【注】固毡大盖容易损坏，要轻拿轻放，其上不能放置石墨件或其他物品。 4）升起主炉筒，旋转使其离开热系统。注意保护水管及导线等设备。 5 其他流程 1 热场的大清煅烧

1.1全套新热场煅烧按照附录一《新热场煅烧表》中的要求进行煅烧。 1.2 正常拉晶时热场的清理及煅烧 1.2.1小清

1）炉台运行4炉后进行小清。

2）将热场全部拆出，将炉膛、石墨件清扫干净后按照图5-1的要求装配好热场。 1.2.2大清煅烧

1）炉台运行8炉后需要进行大清煅烧。

2）大清时，将热场全部拆出，将炉膛、石墨件清扫干净。 【注】炉膛内重点清扫部位： a.炉膛内所有的焊巴。

b.热电堆取光孔、窥视孔、聂耳根孔。

c.炉盖喉口处、隔离阀内。 d.副室内壁、副室顶部。

热场清扫：石墨件上有黄色挥发物需进行打磨。 3）大清完成后，按照图5-1的要求装配热场。

4）抽空、检漏合格后，按照自动煅烧工艺进行煅烧。煅烧完成后按照正常流程停炉、拆炉。

5）煅烧停泵后，立刻更换主泵泵油。清理弯管和电磁阀。

【注1】主泵泵油更换操作执行《主真空泵使用、维护作业指导书》。 【注2】弯管和电磁阀16炉清理一次。 2设备重要部件的维护参照《设备维护保养规程》

F

图5-1 C版图纸装配图

3 异常情况处理 3.1突然停电

在熔硅时或拉晶过程中，遇到突然停电，现场操作人员要采取以下措施： 1）关闭主泵球阀和氩气气源球阀；（停电后，虽然真空电磁阀和流量计上的电磁阀会自动关闭，但我们仍需关掉主泵球阀和气源球阀）

2）手动降低埚位，使晶体脱离液体，降埚位时注意摇轮按照标识的方向转动。

3）把所有电控柜开关、旋钮旋回零位。

4）如果是单个炉子由于电器原因造成停电或部分炉子停电，操作人员在采取上述措施后要及时通知班长和机修人员，如在埚内熔料还未完全结晶前修好，可以根据情况送电继续进行拉晶。有以下经验供参考。

当埚里余料较多时（大约占投料量的70%以上），由于热惰性较大，从液面刚刚结晶完毕开始计时，到5分钟时恢复供电，可以继续加热，这时尚属比较安全。到8分钟时仍可继续加热，但已经有一定的风险性。

5）如果全车间停电，单晶操作人员采取上述措施。生产班长应紧急联系设备部负责人，组织抢修，先启动备用水泵电源，保证在2分钟内将冷却水通上。 3.2冷却水不通

1）停水后需要关闭加热器。将氩气快充打开，保持主真空泵抽气，加速冷却。

2）若冷却水不通2分钟以上，操作人员离开窥视孔。 3.3 挂边、搭桥、坩埚变形

“挂边”是指在熔化多晶硅的过程中，当绝大部分的多晶硅熔完后，但有一些硅块粘在熔体上面的坩埚边上，可以在液面观察到其倒影。如果挂边的料块较大，就会造成石英坩埚变形，如图5-2所示。

“搭桥”指多晶硅即将熔完时部分硅块在熔体上面搭靠形成一座“桥”。 造成挂边或搭桥，一是装料时没有按照要求；二是过早的提高坩埚位置和过早的降低加热器功率。

图5-2石英坩埚变形导致墩埚

熔硅时出现上述情况要及时处理（小块的挂边不必处理），首先降低埚位，快速升高加热器功率，一旦挂边或搭桥消失，就要快速降低功率和升高埚位，避免产生硅跳。

如果遇到料都化完了，仍有较大的挂边（或搭桥），这时即使有风险，还是应该把埚位降到最低，适当升高功率，将挂边或搭桥处理掉。否则，因挂边撞上导流筒，拉晶无法进行。 3.4跳料

“跳料”是指熔硅在石英坩埚内沸腾并且飞溅出来的现象。

1）在化完料后由于没有及时降低加热器功率或采用高温挥发工艺造成的硅跳，要迅速降低加热功率，适当升高埚位。

2）由于误操作导致熔硅浸没导流筒造成硅跳，应及时降低埚位到安全位置。 3）因氩气供应中断，炉内被抽到较高的真空度时，也会跳料。 3.5 冷却水不通

如果单晶炉的某个部位（炉筒、下轴、电极等）因为冷却水管堵塞、脱落或冷却水管阀门没有打开，造成该部位无法正常冷却时，此处温度会迅速升高。如温度升高严重，则应停炉，不能在高温情况下通水，否则有汽化爆炸的危险。操作人员一定要经常检查各个冷却水管是否畅通。发现异常要及时处理，防止造成事故。

3.6结晶

1）在拉晶时发现在光圈上出现结晶倒影，要适当降低拉晶速度和进行温补，时时进行监视。如果结晶严重时，应降埚位，使晶体和熔硅分离，防止结晶块与晶体粘连发生事故。

2）当所用原料比较脏时或提纯时，要注意按照工艺设定拉速和温升。 3.7漏硅

3.7.1漏硅是在拉晶过程中，由于石英坩埚破损，使熔硅漏到炉膛内。通常漏硅会造成重大的经济损失（如图5-3所示）。造成漏硅主要有以下原因：

1）拉晶时多次断线回熔造成拉晶时间太长；

2）部分熔硅结晶，体积膨胀撑坏石英坩埚后熔硅漏出；

3）三瓣埚帮没有处理干净或料太脏，造成石英坩埚析晶破损漏硅； 4）人为的误操作，如回熔时将晶体一次性下降太多，戳坏石英坩埚； 5） 没有认真执行工艺要求，如装料时硬挤硬塞造成坩埚受损，塌料后没有及时升起埚位等等。

图5-3漏硅造成下轴波纹管及石墨件损坏

3.7.2通常漏硅后会出现以下情况：

1）发生过流； 2）加热器电阻过低； 3）炉压升高； 4）熔硅明显变少； 5）波纹管温度升高。 3.7.3漏硅后的处理：

1）如漏硅严重，发现炉压急剧升高，应关闭电源，人员撤离。

2）炉压变化不大，应关闭加热器；将主泵的节流阀完全打开，进行冷却，人员密切监视炉压变化。 6 操作要求

1 外部引晶盒使用要求 1.1紧盯操作：

1）使用外部引晶盒时，必须在仔细观察上轴（或晶体）的情况下，才能进行操作；一旦视线离开，应立即停止操作。

2）引晶盒只能拿在手中进行操作（如图6-1所示），离手时操作即应停止。 以上两条，任何一条不满足，均属于违规操作。

1.2用完归位：引晶盒在用完后将数值归为零，并及时将引晶盒电源关掉，悬挂在电控柜侧面的专用螺钉上（如图6-2所示）。严禁放置在其他位置！

图6-1

图6-2

1.3保证完好：使用中注意保护引晶盒及其连线，出现异常时请及时报修。 2 拉晶过程中上轴操作规定

2.1拉晶时，在快降上轴的过程中（提渣、引晶、掺杂或其它操作），必须分阶段进行预热。

1）先从副室降重锤，至籽晶下端处于热屏上平口处，预热9-10分钟； 2）再从热屏上口降至液面以上约10mm处预热9-10分钟。

2.2拉晶时，在快升上轴的过程中（提渣盖、提小头、掺杂或其它操作），必须分阶段进行降温。

1）先上升至籽晶下端处于热屏上平口处，预冷9-10分钟；

2）再提升至副室小观察窗附近，隔离阀不关闭，进行冷却9-10分钟； 3）关闭隔离阀后，充气到300-350乇，再冷却9-10分钟，方可打开副室。 4）提升副室和炉盖，需要两人配合。一人扶住炉盖和副室，防止旋转，另一人操作副室提升按钮。

2.3在进行隔离操作时，要注意观察籽晶位置，在关闭、打开插板阀，尤其是翻板阀时，不会磕碰到籽晶或晶体。 3 隔离操作及副室净化操作注意事项

3.1隔离阀（包括插板阀和翻板阀）使用注意事项

1）在用插板阀进行稳上轴操作时，需稳重锤的中部，稳完重锤后要及时将插板阀完全归位（即打开）；

2）是翻板阀的炉台，在进行隔离操作后，须在小副室内进行稳重锤操作。合副室小门前，应将副室内及密封圈擦拭干净；

3）隔离阀的开、闭都必须操作到位，触到限位。 3.2隔离和副室净化操作注意事项

1）进行隔离操作时，先在触摸屏上选择隔离，然后才能关闭隔离阀。 2）选择副室净化后，打开副泵，再打开副泵球阀。电脑提示副室净化完成后，才能打开隔离阀，关闭副泵。

附录一

新热场煅烧表 炉台：

第一次真空煅烧要求

步骤 功率 转入下一步骤的条件（所列条件同时满足） 1、煅烧时间 = 3个小时 30k2、真空数值≤50mTorr，达不到则w 煅烧时间延长至真空达到要求为止。 1、煅烧时间 = 3个小时 50k2、真空数值≤50mTorr，达不到则w 煅烧时间延长至真空达到要求为止。 1、煅烧时间 = 3个小时 70k2、真空数值≤50mTorr，达不到则w 煅烧时间延长至真空达到要求为止。 1、 煅烧时间 = 2个小时 90k2、 真空数值≤50mTorr w 3、 本步骤总煅烧时间≤4个小时 停炉后大清热场 数据记录 操作人签字 第一步 起始时间： 转入下一步前的真空度： 第二步 起始时间： 转入下一步前的真空度： 第三步 起始时间： 转入下一步前的真空度： 第四步 第五步 起始时间： 转入下一步前的真空度： 备注：1、当装入热场后，炉台的极限真空不能抽至50mTorr以下，则以该炉台

的能够达到的极限真空值代替上表中的50mTorr这一标准，但是该标准的放宽严禁超过100mTorr。

第二次真空煅烧要求

步骤 功率 煅烧时间 数据记录 操作人签字 第一步 第二步 第三步 第四步 第五步 30k煅烧时间 = 1个小时 w 50k煅烧时间 = 1个小时 w 70k煅烧时间 = 1个小时 w 90k煅烧时间 = 12个小时 w 停炉后大清热场

起始时间： 转入下一步前的真空度： 起始时间： 转入下一步前的真空度： 起始时间： 转入下一步前的真空度： 起始时间： 转入下一步前的真空度： 第三次按照自动煅烧工艺进行煅烧

步骤 时间（min） 加热器功率（kw） 1 15 30 2 15 50 3 10 60 4 10 70 5 10 80 6 60 90 7 180 90 8 30 70 9 210 90 10 30 40 压力设定（Torr） 7 7 7 7 7 7 7 7 7 7 氩气流量（slpm） 30 30 30 30 30 30 30 30 30 30 备注：煅烧时的埚转为1转，平口位置；重锤放置于在副室观察窗能够看见

四、 实习内容

（一） 、安全培训： （1）、人生安全：人生安全是工作、生活的前提，在保证人生安全的前提下，再保证其它安全，（如设备，产品，财产等）。

（2）、用电安全：在生活、工作中要警惕各种带电物体，不接触低压带电体，不靠近高压带电体，保证在生活、工作中不因用电疏忽造成对自己或他人生命构成威胁。

（3）、生产安全：安全生产是指在劳动过程中，要努力改善劳动条件，克服不安全因素，防止伤亡事故的发生，使劳动生产在保护劳动者的安全健康和国家财产及人民生命财产安全的前提下进行。

（二）、道德修养及职业道德培训：

（1）、社会公德：公德指与组织、集体、民族、社会有关的道德；其特点：基础性、全民性、相对稳定性。其内容：文明礼貌、助人为乐、爱护公物、保护环境、遵纪守法。社会公德的内容是对公共生活中的方方面面提出的基本规范和要求。遵守社会公德的重要性有：

①、遵守社会公德是维护社会公共生活正常秩序的必要条件； ②、遵守社会公德是成为一个有道德后人的基本要求；

③、社会公德建设时精神文明建设的基础性工程，也是精神文明程度的“窗口”。 （2）、职业道德：职业道德是就职人员的职业品质、工作作风和工作纪律的统一。其特点：有限性、继承性、多种多样性、纪律性。其主要内容：爱岗敬业、诚实守信、办事公道、服务群众、奉献社会。 ①、职业道德是一种职业规范； ②、职业道德是长期以来自己形成的； ③、职业道德没有确定形式；

④、职业道德是依靠文化、内心信仰和习惯，通过自律来实现的; ⑤、职业道德大多没有实质的约束和强制力；

⑥、职业道德的标准多元化，代表不同企业具有不同价值，其主要内容是对员工义务的要求；

⑦、不同的企业有不同的职业道德。 （3）、家庭美德和基本道德规范：

①、家庭美德的主要内容包括：尊老爱幼、男女平等、夫妻和睦、勤俭持家、邻里团结等。

②、基本道德的主要内容包括：爱国守法、明礼诚信、团结友善、勤俭自强、敬业奉献等。

（三）、生产培训（单晶拉制过程的介绍）： （1）、用直拉法生产单晶硅（CZ法）：

特点：单晶生长的设备和工艺比较简单，容易实现自动控制，效率高，易于制备打直径单晶硅杂质浓度，但杂质浓度不高（本公司现用此单晶生产法进行生产）；

（2）、其它拉制单晶硅的方法：悬浮区熔法、汽相生长法、基座法等。 （3）、直拉单晶炉的组成：

①、炉体：包括下轴、主炉室、炉盖、翻板阀、副室、提拉头等； ②、电器部分：主要有PLC控制电板、电源控制机构； ③、热场：主要由石墨器件和石墨毡（碳毡）组成； ④、水冷系统：水冷装置和高纯冷却水； ⑤、真空装置：主要有主真空泵和副真空泵；

⑥、氩气系统、主要有氩气装置和氩气组成，其作用是导气和热屏蔽。 （四）、生产工艺流程图：

拆炉 装炉 抽空检漏 压力化熔料 稳定化 引晶 放肩 转肩 等经 收尾 停炉

（五）、各工艺过程的作用及目的：

（1）、拆炉：取出晶体（冷却），拆出热场进行冷却；

（2）、装炉: 热场清理（清理干净）、热体安装（装好，对中）、装料（保证高纯卫生）；

（3）、抽空检漏：净化炉内；

（4）、压力化/熔料：保证炉内压力，熔料；

（5）、低压挥发：将硅液中的杂质和空气充分挥发出来； （6）、稳定化：让熔硅温度稳定到引晶温度； （7）、引晶：排除位错使硅原子排列整齐； （8）、放肩：压低拉速，适当降温； （9）、转肩：提高拉速，再次降温；

（10）、等径：控制拉速，热场温度和尺寸；

（11）、收尾/停炉：提高成品率，真空冷却晶体和热场。

五、个人心得

时光如梭！这期间，体验着劳动的光荣与艰辛，在这里我学到了我离开校园的第一笔知识，这些都是从书本上学不到的知识，从体验公司的文化到亲身接触公司的每个部门的人员，从员工们的言谈中，有好的信息，也有不好的耳闻，总之，我的感觉中，我们的公司还是在不断前进发展。在这实习期间，我学到了很多有用的知识，我也深深地体会到工人们的辛苦和伟大，也许我们以后不会真正的从事工业生产，但这一年给我留下的宝贵经验是永远难以忘怀的，并将作为我可以受用终生的财富。

在实习期间我有很深的感触，很感谢学校能给我们提供这个实习的机会，让我们提前体验到学功课的不易，获得了课堂里得不到也想不到的知识，也许将来不会走上这个岗位，但是现在所学的知识和感受却是终生难忘。虽然脏点累点，但这些都无所谓，重要的是我们有了收获、也有了成果。

刚去的时候，看到那里环境那么恶劣，觉得自己来错了地方，很不满，也没心思跟着师傅学，心里想着自己是堂堂大学生还干这样的又脏又累的活。一次次的这样想，都被师傅发觉了，最后经过师傅的耐心讲解和一些老师傅的谈心，才真的明白了。那些有成就的人和有深厚技术的人不是经过长期不断的辛苦的工作劳动才变得那样啊。所以刚开始工作时，不要总看工作好不好，而是要脚踏实地去认真学习工作经验和技术技能，这才是我们实习的目的。

实习看似漫长，其实也很短暂。其间有休息时师徒共同的开怀大笑，也有工作时严肃的面孔。每天的12个小时很快的就过去了。直到下班时才感觉到累，但内心却充实了许多。虽然每天都12个小时，但它让我感受到了工作的氛围，工作环境是以前从未有过的感受。

每一天，大家都要学习新的技术，并在12小时的实习时间里，完成从对各项工种的一无所知到做出一道工序的过程。在老师们耐心细致地讲解和在我们的积极的配合下，基本达到了预期的实习要求，圆满地完成了实训。这次实训给我的体会是：第一，在了解、熟悉和掌握一定的工程基础知识和操作技能过程中，培养、提高和加强了我们的工作实践能力、创新意识和创新能力。第二， 培养和锻炼了劳动观点、质量和经济观念，强化遵守劳动纪律、遵守安全技术规则和爱护国家财产的自觉性，提高了我们的整体综合素质。 第三，在整个实训过程中，师傅对我们的纪律要求非常严格，同时加强对填写实习报告、清理工作台、遵守各工种的安全操作规程等要求，对学生的综合工作素质培养起到了较好的促进作用。第四，班长将我们的打分标准公布给我们，使我们对自己的得分有明确认识，对于提高我们的质量意识观念有一定作用。对我们的实训成绩，实行逐个考察的办法，使我们能认真对待每个工种和每个实习环节。

总之，来到宁夏隆基硅材料有限公司这来之不易的实习中，我们了解了企业的概述以及组织机构等等有关社会中的常规知识，同时也看到了一个现代化的企业所拥有的相待华的管理体制以及科学化人性化的运作模式，使我们也要不断的完善自己改变自己。现在我终于亲身体会到了，以前作为一名学生，主要的工作是学习，现在即将踏上社会，显然，自己的身份就有所变化，自然重心也随之改变，现在我的主要任务应从学习逐步转移到工作上。这一年好比是一个过渡期——从学生过度到上班族，是十分关键的阶段，回想自己在这期间的工作情况，不尽如意。对此我思考过，学习经验自然是一个因素，然而更重要的是心态的转变没有做到位。

因此，我会更加努力的做好我的本职工作。与此同时，我们为了学校的名誉和个人的未来将会珍惜这次实习机会。在实习的过程中我的体会很多也很深刻，相信我能从中学到更多有用的东西，更多好的习惯，为自己的将来打下更好的基础

六、实习总结

走出校门步入工厂的大门，这是我人生的另一个转折，这个转折将会对我今后的工作、生活有着重大的意义，这个意义在于我将多年所学的理论知识溶入实际的生产之中，使我初步懂得怎样运用理论知识进行实际生产。因此我们也应当要在实习当中不断积累经验、总结教训的同时，完全接纳和容入工作生活的点点滴滴，只有这样才能适应未来的工作和生活。

其实我们在实习当中也可以说是工作了，因为我们平时所做的也就是和正式员工一样工作内容，同时也深深明白到就业单位不会像老师那样点点滴滴细致入微地把要做的工作告诉我们，毕竟这里是工厂，并没有过多的时间像在学校里面有老师来细心、耐心地教导我们，更多的是需要我们自己去观察、学习、总结。不具备这项能力就难以胜任未来的挑战。随着科学的迅猛发展，新技术的广泛应用，会有很多领域是我们未曾接触过的，只有敢于去尝试才能有所突破，有所创新。除了前面组装机床的两个多月，后面的半年的数控试加工的实习当中带给我的，不仅仅是我所接触到的那些操作技能，也不是通过几项工种所要求我们锻炼的几种能力，更多的则需要自己在实习结束后根据自身的情况去思考、感悟，回顾反思，还有自我鼓励和不断学习。当然也需要注意身体和休息，为了以后更好地工作和生活，毕竟身体还是本钱，这也是因为出来实习对比之后，我深深感觉到在学校时候轻松的学习和生活所得之感触。在生活上综合全方面的因素来衡量、思考、实践和吸取经验教训，无论是工作上，还是生活上都要持之以恒、坚持不懈地学习，只要是自己应该做或者是必须做的，无论是大小事情都要认真细心地全力以赴、要求自己做到最好！这样才能够有所收获，使这次实习达到了自己、学校和企业三方面共同的真正要求和目的。

通过了这一段时间在隆基硅的实习，让我很是受益匪浅，也让我的性格有了很大的转变，更加的开朗，同时也让我尝到了工作的艰辛，但工作的同时我是快乐的。相信只要有付出，收获一定会让你露出满意的微笑。

大学三年的时光一晃而过，而在校期间老师的培育使我们懂得严于律己、宽以待人，逐步完善自己，经常严格要求自己，培养自己吃苦耐劳、团队协作的精神。

在生活方面，我崇尚质朴的生活，并养成良好的生活习惯和正派的作风。此外，增强对时间观念性，并不断学习他人长处和睦相处，培养自己团队合作的精神。再次单位期间让我懂得了实践也是很重要的，更为我们以后的人生打下更好的基础。

在当今社会竞争激烈，更在金融危机的影响下，让我感到自己的不足和差距，我会更加的珍惜剩下的时间，不断用新的知识和技能充实自我、丰富自我、完善自我，相信一定能做好。一个人只有把聪明才智应用到工作中去服务社会，让效益和实践来验证自己，方可使自身的价值得以真正的体现。别人不能或不愿做的，我会义不容辞的去做好；别人做好的，我会尽自大的努力做得更出色。我自认为自己最大的优势是爱岗敬业。知识经济的时代打的是人才战争，一个企业乃至一个国家人才素质的高低将影响它的国际竞争力，而每一个人都需要一个发挥才智和技能的场所。

因此，我们在这最后的一学期里在学校的安排下到隆基硅进行为期一年的实习。与此同时，我们为了学校的名誉和个人的未来将会珍惜这次实习机会！ 本次实习使我第一次亲身感受到了所学知识与实际的应用，理论与实际的相结合，让我们打开眼界，也算是对以前所学知识的一个初审，这次生产实习对我们以后学习，工作也真是受益非浅。在这近一年的实习中，让我们初步理性回到感

性的熟悉，也让我们初步的熟悉了这个社会，对以后做人把握方向更有启发。

指导意见：

 排版格式太乱，一定要严格按照要求  序号编排也有问题 一、 （一） 1．

（1） （2） „„ 2． „„ （二） „„ 二、 „„

应按以上格式编排序号

 第三部分流程写得太多，只写和自己有关的就行

 第四部分实习内容缺得太多，要举例说明自己是如何干的，一定要把自

己放在工作中。这是实习报告的重点部分。  心得和总结可放在一起，就写实习总结就可以了。  要增加节能环保的措施

 后面要列参考资料

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