专利名称：溅射靶材及用该溅射靶材制作的CIGS基薄膜太阳
能电池
专利类型：发明专利发明人：李艺明,邓国云申请号：CN201510370003.9申请日：20150630公开号：CN105047738A公开日：20151111
摘要：本发明提供了一种溅射靶材及用该溅射靶材制作的CIGS基薄膜太阳能电池，通过在硫化锌材料中掺入一定量的B、Al、Ga、In元素来制作硫化锌溅射靶材，并用该硫化锌溅射靶来制作无镉的薄膜太阳能电池，本发明的硫化锌溅射靶材可使用DC溅射沉积或AC溅射沉积，可避免使用复杂的RF溅射设备沉积硫化锌膜层，可降低薄膜电池的制造成本。
申请人：厦门神科太阳能有限公司
地址：361009 福建省厦门市火炬高新区创业园宏业楼104室
国籍：CN
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