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一种溅射靶材及用该溅射靶材制作的CIGS基薄膜太阳能电池[发明专利]

来源:伴沃教育
专利内容由知识产权出版社提供

专利名称:一种溅射靶材及用该溅射靶材制作的CIGS基薄膜

太阳能电池

专利类型:发明专利发明人:李艺明,邓国云申请号:CN201510711517.6申请日:20151028公开号:CN105355681A公开日:20160224

摘要:本发明提供了一种溅射靶材及用该溅射靶材制作的CIGS基薄膜太阳能电池,通过在硒化锌材料中掺入一定量的B、Al、Ga、In元素来制作硒化锌溅射靶材,并用该硒化锌溅射靶来制作无镉的薄膜太阳能电池,本发明的硒化锌溅射靶材可使用DC溅射沉积或AC溅射沉积,可避免使用复杂的RF溅射设备沉积硒化锌膜层,可降低薄膜电池的制造成本。

申请人:厦门神科太阳能有限公司

地址:361000 福建省厦门市火炬高新区创业园伟业楼南楼S102A室

国籍:CN

代理机构:厦门市首创君合专利事务所有限公司

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