华南师范大学学报(自然科学版) 2013年5月 May 2013 JOURNAL OF SOUTH CHINA NORMAL UNIVERSITY 第45卷第3期 Vo1.45 No.3 (NATURAL SCIENCE EDITION) 文章编号:1000—5463(2013)03—0053—06 低In组分量子阱垒层A1GaN对GaN基 双蓝光波长发光二极管性能的影响 罗长得,严启荣,李正凯,郑树文,牛巧利,章 勇 (华南师范大学光电子材料与技术研究所,广东广州510631) 摘要:采用数值分析方法对含有低In组分A1GaN垒层InGaN/GaN混合多量子阱双蓝光波长发光二极管进行模拟分 析.结果表明,这种AlGaN量子阱垒层能有效改善电子和空穴在混合多量子阱活性层中的分布均匀性及减少电子溢 出,实现电子空穴在各个量子阱中的平衡辐射,减弱了双蓝光波长发光二极管的效率衰减.此外,通过改变A1GaN量 子阱垒层的Al组分,双蓝光波长发光二极管发射光谱的稳定性:当A1组分为0.08时,双蓝光波长发光二极管 的光谱在小电流和大电流下较稳定,而Al组分为0.09时,光谱只在40—100 mA电流范围内较稳定. 关键词:A1GaN垒层;GaN垒层;双蓝光波长;发光二极管 中图分类号:0482.7 文献标志码:A doi:10.6054/j.jscnun.2013.04.012 近年来,由于氮化物白光发光二极管(LED)具 有体积小、寿命长、高效节能等优点,受到了极大的 关注和发展.它被誉为继白炽灯、荧光灯、气体放电 灯之后的照明光源.但LED显色指数较低 不利于其发展.我国的LED照明设计标准规定的显 色指数必须达到80,自然光的显色指数为100.目前 不同阱中分布不均匀,导致电子空穴复合发光绝大 部分发生在靠近P—GaN侧的几个量子阱内,David 等 通过光谱测量也证实了GaN基多量子阱LED 的复合区主要集中在靠近p-GaN侧的量子阱内.这 点在单波长LED结构中电子空穴的分布不均匀对 电致发光(EL)光谱影响不大,但在混合多量子阱的 双波长LED中电子空穴分布不均匀对EL光谱产生 严重影响.本文采用数值模拟方法,通过在InGaN/ GaN混合多量子阱中的低In组分A1GaN垒层来优 绝大部分白光LED是通过蓝光芯片发射的部分蓝 光激发YAG:Ce黄色荧光粉产生黄光与部分未被吸 收的蓝光耦合成白光¨J,在高色温情况下能满足较 高的光效和显色性,但是在低色温情况下,显色指数 一化双蓝光波长LED的性能,深入分析低In组分Al— GaN量子阱垒层对双蓝光波长LED的发光效率、电 子空穴浓度分布、发射光谱等方面的影响,探索光谱 稳定的高效率双蓝光波长LED芯片的设计方法. 般不高于70.MIRHOSSEINI等 通过模拟结果 显示基于双蓝光波长芯片激发YAG:Ce荧光粉,能 在保持流明效率的同时得到高显色指数的白光 LED.本研究组采用混合多量子阱结构的GaN基双 蓝光波长芯片激发YAG:Ce黄色荧光粉实现了白光 1模拟参数与器件结构 1.1模拟参数 LED,显色性达到了88,但其发光光谱随着驱动电流 的改变而变化 . 在GaN基材料中,由于电子的有效质量(0.2 Crosslight公司的半导体器件模拟专用软件 APSYS(Advanced Physical Models of Semiconductor m。)远低于空穴的有效质量(1.1 m。),使得电子的 迁移率远大于空穴的迁移率,电子容易穿越活性层 而堆积在靠近P.GaN侧的量子阱层,甚至溢流出有 源层,相反,空穴比较难穿越活性层而在靠近 Devices) 是利用各种物理模型模拟各项特性与结 果.在模拟中利用二维有限元分析方法,以漂移~ 扩散模型和电流连续方程为基础,结合边界条件自洽 解泊松方程,得到LED器件的电学和光学特性. p-GaN侧的量子阱,这样使得电子和空穴的浓度在 收稿日期:2012—10—21 基金项目:国家自然科学基金项目(U1174001);广东省自然科学基金项目(¥2011010003400);广东省科技计划项目(2012B010200032) 通讯作者:章勇,教授,Email:zycq@scnH.edu.cn. 第3期 罗长得等:低In组分量子阱垒层A1GaN对GaN基双蓝光波长发光二极管性能的影响 55 9倍以上,而其它量子阱的空穴浓度几乎不变(图 2结果与讨论 2.1 AIGaN作为低In组分量子阱垒层对双蓝光 4B).这主要是由于低In组分量子阱垒层用A1GaN 替代GaN改善了空穴的注入能力和低In组分活性 层对载流子的能力,导致各量子阱中的电子和 波长LED性能的影响 空穴浓度都比较均匀. GaN与A1GaN分别作为低In组分量子阱垒层 时,双蓝光波长LED的内量子效率与电流的变化关 系如图2所示.A1GaN垒层能有效改善其发光效率 在大电流下的衰减(Efficiency Droop).GaN垒层其 内量子效率一直低于80%,并随着电流的增大而减 小.而A1GaN作为低In组分量子阱垒层,其内量子 效率在3.45~120 mA范围内却一直保持在90%以 上,内量子效率没有明显下降的趋势.在120 mA 时,A1GaN垒层LED的内量子效率比GaN垒层LED Current/mA 的高出23.7%.图3表示相应双蓝光波长LED发光 功率随电流的变化关系,器件的发光功率都随电流的 图2 GaN垒层与A1GaN垒层的双蓝光波长LED的内量子 效率 Figure 2 The internal quantum efficiency of two dual—blue LEDs with GaN barriers and AlGaN barriers 增大而增大,但是GaN垒层LED的发光功率增幅明 显低于A1GaN垒层LED.在120 mA时,A1GaN垒层 ED的发光功率比GaN垒层LLED的高出26.8 mw. GaN和A1GaN分别作为低In组分量子阱垒层 时,双蓝光波长LED在120 mA时电子和空穴的浓 度分布如图4所示.结果显示,A1GaN垒层能有效 改善电子和空穴在混合多量子阱层的分布.在图 4A中,当低In组分量子阱垒层使用A1GaN垒层来 替代GaN垒层时,靠近间隔层的2个量子阱中电子 浓度显著提高,而靠近p-GaN的低In组分量子阱的 电子浓度明显降低.此外,A1GaN垒层可提高低In 组分量子阱中的空穴浓度,特别是紧邻间隔层的低 In组分量子阱的空穴浓度比传统结构LED提高了 Cu ̄enffmA 图3 GaN垒层与A1GaN垒层的双蓝光波长LED的发光功率 Figure 3 The light output power of two dual-blue LEDs with GaN barriers and AlGaN barriers 图4双蓝光波长LED在120 mA时电子(A)和空穴(B)的浓度分布 Figure 4 Concentration distribution of electron(A)and hole(B)in the two—blue LEDs at 120 mA 图5表示GaN和A1GaN分别作为低In组分量 子阱垒层的双蓝光波长LED在120 mA时的辐射复 合率分布.结果显示,当低In组分量子阱垒层使用 A1GaN替代GaN后,紧邻间隔层的低In组分量子阱 56 华南师范大学学报(自然科学版) 第45卷 的辐射复合率增大,从而使其总辐射复合率迅速提 高并达到与高In组分量子阱的复合率相当.在 GaN基材料中,由于空穴的迁移率远低于电子的迁 移率,导致电子更容易穿过活性层而达到p-GaN 侧.从图4可以看出,传统GaN垒层LED的所有量 子阱层中空穴浓度明显低于电子浓度,导致电子空 穴在各个量子阱中不能平衡辐射,存在电子过剩的 现象.同时,由于载流子更容易被活性层中最深的 垒层的势垒,能更好减少电子溢流.A1GaN作为低 In组分量子阱垒层的LED价带处的空穴准费米能级 比GaN作为低In组分量子阱垒层的LED更接近导 带,因此进一步提高了空穴的注入.A1GaN垒层对提 高空穴注入能力和增加对电子的作用与CHANG 等_l 报道的A1GaN在单一In组分多量子阱活性层 中垒层的作用相符合. 量子阱捕获,因此,低In组分量子阱中的载流子浓 度非常低,导致低In组分量子阱的辐射复合率明显 低于高In组分量子阱.低In组分量子阱垒层使用 A1GaN替代GaN,能有效提高空穴的注入能力和进 一步载流子在低In组分量子阱中,A1GaN层作 为低In组分量子阱垒层能显著提高紧邻间隔层的 低In组分量子阱中电子与空穴的浓度.所以,Al— GaN层作为低In组分量子阱垒层能有效改善电子 与空穴在混合量子阱活性区中的分布,从而实现电 子与空穴在各量子阱中平衡辐射,最终减弱了双蓝 光波长LED的效率衰减效应(图2). E 宝 董 E 8 Growth direction 图5双蓝光波长LED在120 mA时的辐射复合率分布 Figure 5 The radiative recombination rates of the two dual—blue LEDs at 120 mA 图6表示GaN与A1GaN作为低In组分量子阱 垒层的双蓝光波长LED在120 mA时的能带图和准 费米能级图.在图6A中,由于在GaN垒层、p—Al— GaN电子阻挡层和p-GaN层之间存在强极化电场, 导致在p-A1GaN层和p-GaN层界面处价带形成空 穴集聚的凹口(notches)和在GaN垒层与p-A1GaN 层界面处形成了尖峰(spikes)L9j而阻碍了空穴的注 人.另外,GaN垒层与p-A1GaN层之间的极化电场 降低了导带处最后一个垒层的势垒,减弱了在大电 流下对电子的.在图6B中A1GaN替代GaN作 为低In组分量子阱垒层却抬高了导带处最后一个 Growth direction (A)GaN垒层 Growth direction (B)A1GaN垒层 图6在120 mA时双蓝光波长LED的能带图和准费米能级 Figure 6 Band diagrams and quasi—Fermi levels of the LEDs at 120 mA 从内量子效率"/ ̄int的表达式 可以进一步解释 大电流下A1GaN层作为低In组分量子阱垒层能改 善器件的Efifciency Droop效应. II lt讨 1、、 了 ’ L 其中,总的注入电流,包括辐射复合电流, ,非辐 射复合电流,n ,俄歇复合电流/Aug和漏电流,1 .低 In组分量子阱垒层使用A1GaN层来替代GaN垒层 有效地提高了双蓝光波长LED的辐射复合率(图 5),即增大了辐射复合电流 ,同时也减少了漏电 流,1 ,从式(12)可以得出内量子效率叼 的Droop 效应得到显著减弱. 图7为GaN与A1GaN作为低In组分量子阱垒 第3期 罗长得等:低In组分量子阱垒层A1GaN对GaN基双蓝光波长发光二极管性能的影响 57 层的双蓝光波长LED在不同电流下的自发发射率. GaN垒层的双蓝光波长LED相比,A1GaN作为低In 在GaN垒层的双蓝光波长LED中,高In组分量子 组分量子阱垒层更能改善双蓝光波长LED的性能, 阱和低In组分量子阱的发射谱峰值均随电流增大 A1GaN垒层中不同A1组分导致低In组分量子阱对 而增大,且高In组分量子阱的峰值增幅明显大于低 载流子的能力不同,将进一步双蓝光波长 In组分量子阱的峰值增幅.在电流为20 mA时,高 LED发射光谱的稳定性. In组分量子阱的发光峰峰值是低In组分量子阱的 图8表示A1GaN垒层中Al组分分别为0.07和 2.2倍;而当电流增大到120 mA时,高In组分量子 0.09时的自发发射率随电流的变化关系.结合图 阱的发射谱峰值是低In组分量子阱的1.8倍(图 7B(A1=0.08),发现随着Al组分浓度的增加,低In 7A).由于GaN作为低In组分量子阱垒层的LED 组分量子阱的发射谱峰值也逐渐增大.这说明A1. 时,电子和空穴浓度在各量子阱中分布不均衡,并存 GaN垒层中A1组分浓度的增加增强了低In组分量 在电子过剩的现象,从而导致高In组分量子阱中的 子阱对载流子的能力.Al组分为0.08时,双蓝 载流子辐射复合率比低In组分量子阱强.随着低In 光光谱在小电流和大电流下均比较稳定,而当Al组 组分量子阱垒层用A1GaN替代GaN,显著提高了低 分为0.09时,双蓝光光谱只在40—100 mA电流范 In组分量子阱中的载流子浓度,并使得电子空穴浓度 围内比较稳定.比较图8及图7B,可以看出当Al组 在各量子阱中分布趋于均衡,从而实现双蓝光峰的均 分为0.08时可以实现双蓝光光谱的稳定发射,这点 衡发射(图7B). 对基于双蓝光波长芯片激发YAG:Ce荧光粉的白光 2.2 AIGaN垒层中不同Al组分对光谱的影响 LED实现高显色性和色温的一致性非常重要. 前述研究结果表明,与传统的低In组分量子阱 Wavelength/bun Wavelength/ ̄n (A)GaN垒层 (B)AIGaN垒层 图7在不同电流下双蓝光波长LED的自发发射率变化 Figure 7 The spontaneous emission rate of dual-blue LEDs at diferent forward current Wavelength/lam Wavelength/lam (A)AI。。 Ga0 N (B)AI。。。Ga0 。N 图8不同Al组分垒层的双蓝光波长LED的自发发射率变化 Fiugre 8 The spontaneous emission rate of dual—blue LEDs with different A1 content of barrieI at diferent forward cun nt 58 华南师范大学学报(自然科学版) 第45卷 based on dual—blue—emitting active layers[J].Phys Status 3 结论 Solid A,2011,208(8):1972—1975. [4] DAVID A,GRUNDMANN M J,KAEDING J F,et a1. 通过分析比较GaN与A1GaN作为低In组分量 Carrier distirbution in(0001)InGaN/GaN multiple quan— 子阱垒层来优化双蓝光波长LED的内量子效率、发 rum well light—emitting diodes[J].Appl Phys Lett, 光功率、载流子浓度、辐射复合率和自发发射谱.研 2008,92(5):053502. [5] Crosslight Software Inc.[March,20,201 1].http:// 究表明,A1GaN作为低In组分量子阱垒层能有效促 、 .crosslight.corn/products/apsys.shtml 使各量子阱的电子和空穴浓度达到均衡分布及减少 [6] VURGAFFMAN I,MEYER J R,RAM—M0HAN L R,et 电子溢流,实现电子空穴在各个量子阱中平衡辐射, a1.Band p ̄ameters for III—V compound semiconductors 从而改善了双蓝光波长LED在大电流下的效率衰 and their alloys[J].J Appl Phys,2001,89(11):5815. 减效应.此外,通过改变A1GaN垒层中Al的组分能 [7] BERNARDINI F.Nitride semiconductor devices:Princi— 进一步优化双蓝光波长LED发光光谱的稳定性,这 ples and simulation[M].Weinheim:WILEY—VCH Ver- 对双蓝光波长芯片激发YAG:Ce荧光粉实现高显色 lag GmbH&Co.KGaA,2007:49. [8] ZHANG H,MILLER E J,YU E T,et a1.Measurement 性白光LED具有重要意义. of polarization charge and conduction—band offset at In Gal一 N/GaN heterojunction interfaces[J].Appl Phys 参考文献: Lett,2004,84(23):4644. [1] NAKAMURA S,FASOL G.The blue laser diode:GaN [9] HEIKMAN S,KELLER S,WU Y,et a1.Polarization based light emitters and lasers[M].Berlin:Springer, effects in AlGaN/GaN and GaN/AlGaN/GaN heterostruc— 1997:216. tures[J].J Appl Phys,2003,93(12):10114. [2]MIRHOSSEINI R,SCHUBERT M F,CHHAJED S,et [10] CHANG J Y,TSAI M C,KUO Y K,et a1.Advantages a1.Improved color rendering and luminous efficacy in of blue InGaN light—emitting diodes with A1GaN barriers phosphor--converted white light・・emitting diodes by use of [J].Opt Lett,2010,35(9):1368—1370. dual—blue emitting active regions[J].Opt Express, [11] KUO Y K,HORNG S H,Yen S H,et a1.Effect of po— 2009,l7(13):10806—10813. larization state on optical properties of blue-violet InGaN [3]CHEN X W,ZHANG Y,LI S T,et a1.Improving color light—emitting diodes[J].Appl Phys A,2009,98(3): rendering of Y3 A15 Ol2:Ce”white light-emitting diodes 509—5】5. Effect of AIGaN as Low Indium Component Quantum Well Barrier Layers on the Performance of Dual-Blue Wavelength Light-Emitting Diodes Based on GaN LUO Changde,YAN Qirong,LI Zhengkai,ZHENG Shuwen,NIU Qiaoli,ZHANG Yong (Institute of Optoelectronic Materials and Technology,South China Normal University,Guangzhou 510631,China) Abstract:The effect of A1GaN as low indium component quantum well barrier layers on the physical properties of dua1.wavelength light—emitting diodes(LEDs)based on GaN has been investigated numerically.The simulation re‘ suIts show that the A1GaN barrier layers can improve the distirbution of electrons and holes more uniformly and real- ize the radiation equilibrium of electrons and holes in the mixture multi.quantum wells,and further reduce the effi— ciency droop of dual-blue wavelength LEDs at high current.In addition,the spontaneous emission rate of two kinds of quantum wells can be adjusted through control of A1 composition of the A1GaN barrier layers.It can be found from the resuhs that the emission spectrum of dua1.blue wavelength LEDs is more stable at 1ow current and high cur— rent with the A1 composition of 0.08.while the emission specturm is more stable at the current between 40~1 00 mA with the A1 composition of 0.09. Key words:A1GaN barrier layers;GaN barrier layers;dual-blue wavelength;light—emitting diodes 【中文责编:谭春林,庄晓琼英文责编:肖菁】