专利名称：一种聚焦离子束显微镜机台专利类型：发明专利发明人：李成
申请号：CN201710608136.4申请日：20170724公开号：CN107437488A公开日：20171205
摘要：本发明提供一种聚焦离子束显微镜机台，其包括：电镜镜头、腔室以及交换仓；腔室的底部设置有观测台，在观测台上固定连接有支撑台，电镜镜头垂直贯穿腔室的顶部，且与支撑台正对；交换仓贯穿腔室的侧壁且固定在交换仓上，交换仓设置有开孔，且开孔正对支撑台；交换仓中设置有样品台、样品底座以及操纵杆，操纵杆与样品台之间卡扣连接，样品底座与样品台之间固定连接；样品底座上设置有第一凹槽，且第一凹槽的横截面为倒梯形或者矩形。本发明提供一种聚焦离子束显微镜机台可以支持扫描电子显微镜的放样方式，可以直接当作扫描电子显微镜的机台使用。
申请人：武汉华星光电技术有限公司
地址：430000 湖北省武汉市武汉东湖开发区高新大道666号生物城C5栋
国籍：CN
代理机构：深圳汇智容达专利商标事务所(普通合伙)
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